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]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18797684.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18797684.html 其他 Thu, 19 Jan 2012 14:53:53 +0800 101年度春節廠務各系統停止供應及復機公告

公告

奈米元件材料分析組配合101年度春節廠務各系統停止供應，春節假期時間為101年01月18日(星期三) 至～01月29日(星期日)，影響機台如下：

機台編號

機台名稱

停機時間

預計開放時間

NM-001

場發射掃描式電子顯微(FESEM)

01/18

18:00

02/03

8:00

NM-002

大試片掃描探針顯微鏡(D5000)

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-004

歐傑電子顯微鏡(AES)

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-006

場發射穿透式電子顯微鏡(TEM)

01/18

18:00

02/01

9:00

NM-007

原子力顯微鏡系統(C-AFM)

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-008

X光繞射儀(XRD)

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-009

熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)

01/18

18:00

02/01

8:00

NM-010

試片製備室

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-013

二次離子質譜儀(SIMS)

01/18

18:00

01/30

9:00

NM-014

電性掃描探針顯微鏡(D3100)

01/18

18:00

01/30

9:00
]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18797428.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18797428.html 儀器設備 Thu, 19 Jan 2012 14:10:14 +0800 100年度台電公司歲修通知停機公告  

 

奈米材料分析組公告

100/12/17(六)因台電公司歲修通知，奈米大樓停電1天，

影響機台如下：

機台

編號

機台名稱

停機時間

預計開放時間

NM-001

場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM)

12/16(五)

15:00

12/20(二)

8:00

NM-002

大試片掃描探針顯微鏡(D5000)

12/16(五)

16:00

12/19(一)

9:00

NM-004

歐傑電子顯微鏡(AES)
與化學分析電子儀(ESCA)

12/16(五)

15:00

12/22(四)

9:00

NM-005

離子減薄機(PIPS)

12/16(五)

16:00

12/19(一)

9:00

NM-006

場發射穿透式電子顯微鏡(TEM)

12/16(五)

15:00

12/19(一)

9:00

NM-007

原子力顯微鏡系統(C-AFM)

12/16(五)

17:00

12/19(一)

8:30

NM-008

X光繞射儀(XRD)

12/16(五)

16:00

12/19(一)

9:00

NM-009

熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)

12/16(五)

15:00

12/20(二)

8:00

NM-010

試片製備室

12/16(五)

15:00

12/19(一)

9:00

NM-013

二次離子質譜儀(SIMS)

12/16(五)

17:00

12/22(四)

8:00

NM-014

電性掃描探針顯微鏡(D3100)

12/16(五)

16:00

12/19(一)

9:00

 

 

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18441429.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/18441429.html 儀器設備 Wed, 14 Dec 2011 09:45:06 +0800 奈米元件材料分析組收信問題

 

各位委託者好：

委託者 e-mail 給工程師詢問機台相關事宜，若工程師無回覆，

勞煩委託者電話再次確認及詢問...可縮短等待及回覆時間...

若工程師不在，可以請撥其他機台工程師分機，代轉達您的訊息...

因為NDL內部會有收不到信的問題，因此造成委託者等待回覆的情形...

信件問題已通知內部，待查詢中...造成不便請見諒！

附上各機台工程師辦公室電話及實驗室電話～

 

機台

負責人

Office

Lab.

TEM

林昆霖博士

7531

7425/7409

吳建霆博士

7862

7425/7409

AFM

周棟煥先生

7553

7424

簡依玲小姐

7577

7424

XRD

姚潔宜小姐

7681

7409

SEM

許瓊姿小姐

7751

7423

ESCA/AES

沈奕伶小姐

7552

7423

SIMS

郭美玲小姐

7780

7423

 

 





]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/17893653.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/17893653.html 其他 Thu, 10 Nov 2011 13:28:39 +0800 100年度廠務各系統年度保養歲修公告    奈米元件材料分析組配合100年度廠務各系統年度保養歲修，

  時間為11月5日(星期六) 至～11月11日(星期五)，影響機台如下：

機台

編號

機台名稱

停機時間

預計開放時間

NM-001

場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM)

11/4

15:00

11/17

9:00

NM-002

大試片掃描探針顯微鏡(D5000)

11/4

17:00

11/14

9:00

NM-004

歐傑電子顯微鏡(AES)
與化學分析電子儀(ESCA)

11/4

15:00

11/17

9:00

NM-005

離子減薄機(PIPS)

11/4

15:00

11/14

9:00

NM-006

場發射穿透式電子顯微鏡(TEM)

11/4

15:00

11/16

9:00

NM-007

原子力顯微鏡系統(C-AFM)

11/4

17:00

11/14

9:00

NM-008

X光繞射儀(XRD)

11/4

16:00

11/14

9:00

NM-009

熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)

11/4

15:00

11/17

9:00

NM-010

試片製備室

11/4

15:00

11/14

9:00

NM-013

二次離子質譜儀(SIMS)

11/4

16:00

11/17

9:00

NM-014

電性掃描探針顯微鏡(D3100)

11/4

17:00

11/14

9:00

 

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/17540625.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/17540625.html 儀器設備 Thu, 20 Oct 2011 09:04:25 +0800 冷場發射式掃描電子顯微鏡公告
本實驗室冷場發射式掃描電子顯微鏡(nm-001)，

已可正常運轉。

故即日起開放使用!

若有疑問，請洽工程師許瓊姿，分機7751。
 ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15899425.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15899425.html 儀器設備 Wed, 22 Jun 2011 17:02:03 +0800 冷場發射式掃描電子顯微鏡(NM-001)公告 本實驗室冷場發射式掃描電子顯微鏡(NM-001)，

於05/23進行更換燈絲，目前機台真空仍有問題無法使用。

待機台修復後，將進行開放使用。

不便之處；敬請見諒。

若有疑問，請洽工程師許瓊姿，分機7751。 ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15791797.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15791797.html 儀器設備 Fri, 10 Jun 2011 09:08:08 +0800 MES全廠導入教育訓練課程 奈米元件材料分析組

學生教育訓練 時間：4/27(三) 13:30~15：30

 地點：NDL 4F電腦教室

請各位奈米元件材料分析組的學員撥空前往參加~謝謝!!          

                                                                                                                     NM

 

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15562711.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15562711.html 其他 Thu, 21 Apr 2011 09:33:33 +0800 材料分析組跟大家拜年！

 

祝各位：

                    

                新年快樂！

                                                  

                                   健康！

                                                       

                                                 平安！

                                           

新的一年材料分析組仍將會繼續竭盡所能幫大家服務委託分析....

 

            

                                                                                                                   NM

 

                                       

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15096135.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/15096135.html 其他 Mon, 31 Jan 2011 11:14:50 +0800 各位委託者：NDL AES&ESCA 機台狀況 各位委託者：

您們好，由於機台E-gun已耗盡，故將於1/4(二)更換E-gun燈絲。

另外，由於1/8(六)台電停電，故機台將於1/7(五)進行停機，且將於1/10(一)開始復機。

由於以上因素：機台需更換耗材、停機、復機、抽真、測試，故機台於1/4(二)至1/14(五)無法進行委託分析。

預計機台將於1/17(一)開始回復進行委託分析，若有突發狀況無法如期完成復機，會再以e-mail通知各位委託者。

以上是目前機台的狀況，若造成各位委託者實驗上的困擾，請大家多多包涵。

若有委託者想取消委託分析，請回覆告知，謝謝。
   

                                                                                     By 工程師 沈奕伶 2011/01/04 ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14867413.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14867413.html 儀器設備 Thu, 06 Jan 2011 09:43:21 +0800 NDL AES&ESCA 機台狀況
各位委託者：

您們好，目前機台經測試後已能進行分析。

將於即日起盡快安排時間完成各位的委託件。

最後再次向各位委託者說聲：抱歉!

造成大家實驗上的困擾，請您們見諒。

若有問題 請與我連絡...謝謝！                               

                    
                               By工程師 沈奕伶2010/11/29                                          ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14605371.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14605371.html 儀器設備 Fri, 03 Dec 2010 08:17:48 +0800 SEM-影像影集(4) ZnO
























 ZnO ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14591209.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14591209.html 影像走廊 Wed, 01 Dec 2010 08:39:58 +0800 SEM-影像影輯(3) 晶背
























 矽晶片之晶背
]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14513333.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14513333.html 影像走廊 Mon, 22 Nov 2010 14:30:27 +0800 SEM-影像影輯(2) silicon






















 silicon ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14475481.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14475481.html 影像走廊 Thu, 18 Nov 2010 10:36:45 +0800 SEM-影像影輯(1) PD
























非等向性蝕刻後的矽化物


]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14475427.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14475427.html 影像走廊 Thu, 18 Nov 2010 10:26:48 +0800 預告--- 奈米元件材料分析組將導入MES 系統！ 各位委託者：
你們好～
預告一個好消息...
分析組將於明年度計劃導入之MES 系統，將便利遠端的使用者對於委託進度掌握及訊息，提供完整的作業流程監控，將有助於提升委託效率及品質，準確達成預定的交期。

                                                  MN

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14399011.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14399011.html 其他 Wed, 10 Nov 2010 11:10:19 +0800 SEM & AFM 學生常見反應問題        場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM) 學生反應常見問題 

1.      希望"SEM S- 4000 累滿100小時才能考核， SEM 7600的條件" 時數下降一點。
2.      SEM的。析度較差，alignment和focus做好之後對於影像的清晰度幫助有限，有可能是機台的極限。
3.      謹慎考核使用者。
4.      有時會有小故障。
5.      它年紀有點大，有時會不穩定。
6.      儀器較舊對於需要高解析度拍攝的樣品不太好拍。
7.      因為我的試片的厚度為30nm，這樣等於是SEM要放大到10萬倍以上才可以看的到，那可能是因為機台的極限導致我必須用較高階的SEM或是TEM才能拍得到。
8.      希望 "SEM S-4000 累滿100小時才可考核SEM 7600" 的考核條件對碩士生來說 可以降低(例如改成50小時)。
9.      熱場發SEM再增設CL。
10.  NM-009熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)--拍攝效果(對比)不佳。

工程師回答1～5反應：

100小時是經過審慎評估，時數限制是為了讓使用者對SEM更加了解與操作熟悉度增加。

因機台機齡約20年，故解析度會稍差，但每年仍會請原廠對機台做校正與保養，已達機台最佳狀況。

工程師回答6～7反應：

機台較舊解析度會較差，但每年仍會請原廠對機台做校正與保養，已達機台最佳狀況，如有需要高解析度拍攝的樣品建議可申請SEM(JSM 6500-F)委託，或操作FESEM滿100小時可有SEM(JSM 6500-F)使用資格。

對於厚度為30nm試片，建議使用TEM觀測，除非試片導電性極佳，SEM才較有機會拍到解晰較佳影像。

工程師回答8反應：

累滿100小時是經由審慎評估，時數限制是為了確認使用者對SEM熟悉度，如果SEM(JSM 6500-F)使用資格下降，導致機台發生問題，將影響其他使用者的使用權。

工程師回答9反應：

目前使用者對於CL需求量非常少，暫不考慮增設此設備。未來如有經費或有較多使用者需要使用此設備，我們會審慎評估。

工程師回答10反應：

SEM影像對比與試片材料結構有關(如試片高度落差不大或是試片材質太接近等)，影像並不會有強烈對比。

                                        AFM學生反應常見問題

1.  假日時萬一有人撞針，即無法再使用AFM(除非自己帶針來使用).我暫時也想不出什麼方法，不過如果有方法可改善此問題，能讓服務更完善也不錯。

工程師回答1反應：

因更換本組提供之探針，為NDL購買之財產，所以需負責工程師親自更換，無法直接提供給自行操作者。

若假日遇其他使用者撞針，建議同學自備探針更換。否則，還是只能在上班時段時，工程師才能進行換針。建議同學可約在週二或週四白天時段，工程師可馬上解決換針問題。 ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14398963.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14398963.html 儀器設備 Wed, 10 Nov 2010 10:53:01 +0800 提醒--NDL網路連線管理 99年11月1日開始執行網路連線管理，對網路連線之來源端與目的端、時間、流量(流進+流出)進行記錄，但不進行任何封包側錄。
流量統計分為全時段及上班時間(AM8:00-PM6:00) 兩種，並分別篩選每月流量前5%者連線紀錄按月進行分析，請使用者於操作時段勿任意上網連線。

在此宣導～請自行操作者，請勿亂下載非法軟體、影片、音樂...等等。                    
                                     感謝大家配合～

                                      

]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14392007.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14392007.html 其他 Tue, 09 Nov 2010 15:40:40 +0800 歲修期間---影響委託分析通知
             歲修期間-影響委託分析通知

各位委託者：

你們好！

歲修期間無法進行委託分析，仍可送件，先排隊等候分析。

歲修結束後，依排件順序進行量測分析…

此期間造成不便，請委託者多見諒…

歲修結束後 ~ 仍以熱誠的精神 ~

繼續幫委託者服務！                                                                                         
                                                                                                                     NM ]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14391867.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14391867.html 儀器設備 Tue, 09 Nov 2010 15:27:41 +0800 NDL AES&ESCA 機台狀況
                               NDL AES&ESCA 機台狀況

各位委託者：

您們好，不好意思在此要跟各位說聲“抱歉”。

由於最近機台真空狀況不好，所以無法進行委託分析。

目前已請廠商進行處理，但還有其他耗材需更換，再加上11中旬年度歲修，歲修後還需要時間復機，得待廠商確認可以使用後，才能進行委託分析，故無法給各位委託者一個明確的時間，且也會讓各位委託者等較久的時間。

以上是目前機台的狀況，造成各位委託者實驗上的困擾，在此向各位致上十二萬分的歉意。

待機台恢復運作後會回覆讓各位委託者知道，並盡快完成各位的委託分析。

若有問題 請與我連絡

                                        工程師 沈奕伶
]]> http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14389757.html http://blog.roodo.com/nano_metrology/archives/14389757.html 儀器設備 Tue, 09 Nov 2010 13:14:15 +0800