December 23,2008
NM Lab 儀器自行操作考核辦法
一、可自行操作的儀器:
1、場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM) 2、大試片掃描探針顯微鏡 (D5000)
3、多功能掃描探針顯微鏡 (MMAFM) 4、離子減薄機 (PIPS)
5、原子力顯微鏡系統 (C-AFM) 6、X光繞射儀 (XRD)
7、熱場發射掃描式電子顯微鏡 (TFSEM) 8、試片製備室
9、場發射穿透式電子顯微鏡 (TEM)
二、考核流程:
1、 申請表單:
(1) 申請者先下載「設備考核表」,塡寫完後請指導教授簽名蓋章
(2) 至客服中心確認是否有通過見習班及工安訓練課程
(3) http://www.ndl.org.tw/ndl2006/department/nmlab/training_form.html
2、 操作訓練:
操作訓練的訓練員由近期考核通過的使用者擔任,欲接受訓練的學員可主動
連絡已取得設備使用資格的同學擔任訓練員,或至客服務中心取得該設備近期通
過的人員名單三名,自行以電話聯絡的方式找到合適的訓練員。
3、 考核:
由各儀器負責工程師針對學員進行實務操作考核,考核之〝項目與評分佔
比〞均需登錄於「設備考核表」。
4、 授權使用資格:
經授權核淮人開放使用權限後,將通過考核學員之「設備考核表」記錄轉交
客服中心進行歸檔作業,再依據「會員管理作業程序」進行權限設定。
5、 當使用權限開放後,即可上網至機台預約系統進行預約。
三、注意事項:
1、場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM) 使用者升等為熱場發射掃描式電子顯微鏡
(TFSEM) 使用者,其詳細辦法請見SEM自行操作使用管理辦法修訂內容
(如第五點)。
2、X光繞射儀 (XRD) 因操作功能度不同,故分為A、B二等級,其詳細辦法請見
XRD自行操作使用管理辦法修訂內容 (如第六點)。
四、附註:
1、設備操作之「設備考核表」均放置在網頁上,可自行下載預作準備。
2、設備考核通過者有義務擔任訓練員(至少training二位以上考生),經常性藉故推
諉訓練任務者,將暫停或取消使用設備之權利。
3、設備考核只有二次機會。第一次考核未通過者,須待二週後才可再與負責工程師
聯絡,進行補考作業;若二次考核皆未通過者,則嚴格禁止該學員再以任何理由
申請複試。
4、考核申請相關問題可與技術訓練負責人 林宏旻 (分機7691) 聯絡。
五、SEM 自行操作使用管理辦法修訂
1、FESEM 使用者升等為 TFSEM 使用者
2、資格說明:
(1) FESEM 使用者的使用時數若累積至100小時以上,即具備考核 TFSEM 之使
用資格。
(2) 符合資格的使用者可循考核 TFSEM 之流程,請 TFSEM 合格使用者進行教
育訓練,訓練完成後再由工程師負責考核,考核通過即可成為 TFSEM 之合
格使用者。
3、流程:
FESEM 使用時數100小時 → 申請 FESEM 教育訓練 → 進行 TFSEM 教育訓練
→ 進行 TFSEM 考核 → 合格TFSEM 使用者
4、負責工程師:簡依玲 (分機:7577)
六、XRD 自行操作使用管理辦法修訂
1、資格說明:
(1) 使用者需取得輻射安全講習 (3小時) 證書及寒暑假訓練班證書,即具備考核
XRD 之使用資格。
(2) 符合資格之使用者可循考核 B2-A 級之流程,考核通過即可成為 B2-A 級之
合格使用者。
(3) B2-A 級使用者,只需再訓練 Epitaxy 結晶品質組成、膜層厚度分析、儀器設
備操作與軟體模擬操作方法訓練各10小時 (共20小時),考核通過即可成為
B2-B 級之合格使用者。
2、開放等級:
B2-A 級:主要教學 XRD 基本觀念及結晶相鑑定操作分析-訓練10小時
B2-B 級:主要教學 Rocking Curve 基本操作及軟體分析-訓練10小時
3、流程:
取得證書 → XRD (B2-A級) 課程訓練 → 考核通過 (B2-A級) 使用者 → XRD
(B2-B級) 課程訓練 → 考核通過 (B2-B級) 使用者
4、負責工程師: 姚潔宜 (分機:7681)