January 19,2012
101年度春節廠務各系統停止供應及復機公告
公告
奈米元件材料分析組配合101年度春節廠務各系統停止供應,春節假期時間為101年01月18日(星期三) 至~01月29日(星期日),影響機台如下:
| 機台編號 | 機台名稱 | 停機時間 | 預計開放時間 | ||
| NM-001 | 場發射掃描式電子顯微(FESEM) | 01/18 | 18:00 | 02/03 | 8:00 |
| NM-002 | 大試片掃描探針顯微鏡(D5000) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-004 | 歐傑電子顯微鏡(AES) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-006 | 場發射穿透式電子顯微鏡(TEM) | 01/18 | 18:00 | 02/01 | 9:00 |
| NM-007 | 原子力顯微鏡系統(C-AFM) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-008 | X光繞射儀(XRD) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-009 | 熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM) | 01/18 | 18:00 | 02/01 | 8:00 |
| NM-010 | 試片製備室 | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-013 | 二次離子質譜儀(SIMS) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
| NM-014 | 電性掃描探針顯微鏡(D3100) | 01/18 | 18:00 | 01/30 | 9:00 |
December 14,2011
100年度台電公司歲修通知停機公告
奈米材料分析組公告
100/12/17(六)因台電公司歲修通知,奈米大樓停電1天,
影響機台如下:
| 機台 編號 | 機台名稱 | 停機時間 | 預計開放時間 | ||
| NM-001 | 場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM) | 12/16(五) | 15:00 | 12/20(二) | 8:00 |
| NM-002 | 大試片掃描探針顯微鏡(D5000) | 12/16(五) | 16:00 | 12/19(一) | 9:00 |
| NM-004 | 歐傑電子顯微鏡(AES) | 12/16(五) | 15:00 | 12/22(四) | 9:00 |
| NM-005 | 離子減薄機(PIPS) | 12/16(五) | 16:00 | 12/19(一) | 9:00 |
| NM-006 | 場發射穿透式電子顯微鏡(TEM) | 12/16(五) | 15:00 | 12/19(一) | 9:00 |
| NM-007 | 原子力顯微鏡系統(C-AFM) | 12/16(五) | 17:00 | 12/19(一) | 8:30 |
| NM-008 | X光繞射儀(XRD) | 12/16(五) | 16:00 | 12/19(一) | 9:00 |
| NM-009 | 熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM) | 12/16(五) | 15:00 | 12/20(二) | 8:00 |
| NM-010 | 試片製備室 | 12/16(五) | 15:00 | 12/19(一) | 9:00 |
| NM-013 | 二次離子質譜儀(SIMS) | 12/16(五) | 17:00 | 12/22(四) | 8:00 |
| NM-014 | 電性掃描探針顯微鏡(D3100) | 12/16(五) | 16:00 | 12/19(一) | 9:00 |
November 10,2011
奈米元件材料分析組收信問題
各位委託者好:
委託者 e-mail 給工程師詢問機台相關事宜,若工程師無回覆,
勞煩委託者電話再次確認及詢問...可縮短等待及回覆時間...
若工程師不在,可以請撥其他機台工程師分機,代轉達您的訊息...
因為NDL內部會有收不到信的問題,因此造成委託者等待回覆的情形...
信件問題已通知內部,待查詢中...造成不便請見諒!
附上各機台工程師辦公室電話及實驗室電話~
| 機台 | 負責人 | Office | Lab. |
| TEM | 林昆霖博士 | 7531 | 7425/7409 |
| 吳建霆博士 | 7862 | 7425/7409 | |
| AFM | 周棟煥先生 | 7553 | 7424 |
| 簡依玲小姐 | 7577 | 7424 | |
| XRD | 姚潔宜小姐 | 7681 | 7409 |
| SEM | 許瓊姿小姐 | 7751 | 7423 |
| ESCA/AES | 沈奕伶小姐 | 7552 | 7423 |
| SIMS | 郭美玲小姐 | 7780 | 7423 |
October 20,2011
100年度廠務各系統年度保養歲修公告
奈米元件材料分析組配合100年度廠務各系統年度保養歲修,
時間為11月5日(星期六) 至~11月11日(星期五),影響機台如下:
| 機台 編號 | 機台名稱 | 停機時間 | 預計開放時間 | ||
| NM-001 | 場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM) | 11/4 | 15:00 | 11/17 | 9:00 |
| NM-002 | 大試片掃描探針顯微鏡(D5000) | 11/4 | 17:00 | 11/14 | 9:00 |
| NM-004 | 歐傑電子顯微鏡(AES) | 11/4 | 15:00 | 11/17 | 9:00 |
| NM-005 | 離子減薄機(PIPS) | 11/4 | 15:00 | 11/14 | 9:00 |
| NM-006 | 場發射穿透式電子顯微鏡(TEM) | 11/4 | 15:00 | 11/16 | 9:00 |
| NM-007 | 原子力顯微鏡系統(C-AFM) | 11/4 | 17:00 | 11/14 | 9:00 |
| NM-008 | X光繞射儀(XRD) | 11/4 | 16:00 | 11/14 | 9:00 |
| NM-009 | 熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM) | 11/4 | 15:00 | 11/17 | 9:00 |
| NM-010 | 試片製備室 | 11/4 | 15:00 | 11/14 | 9:00 |
| NM-013 | 二次離子質譜儀(SIMS) | 11/4 | 16:00 | 11/17 | 9:00 |
| NM-014 | 電性掃描探針顯微鏡(D3100) | 11/4 | 17:00 | 11/14 | 9:00 |
June 22,2011
June 10,2011
冷場發射式掃描電子顯微鏡(NM-001)公告
於05/23進行更換燈絲,目前機台真空仍有問題無法使用。
待機台修復後,將進行開放使用。
不便之處;敬請見諒。
若有疑問,請洽工程師許瓊姿,分機7751。
April 21,2011
January 31,2011
January 6,2011
各位委託者:NDL AES&ESCA 機台狀況
您們好,由於機台E-gun已耗盡,故將於1/4(二)更換E-gun燈絲。
另外,由於1/8(六)台電停電,故機台將於1/7(五)進行停機,且將於1/10(一)開始復機。
由於以上因素:機台需更換耗材、停機、復機、抽真、測試,故機台於1/4(二)至1/14(五)無法進行委託分析。
預計機台將於1/17(一)開始回復進行委託分析,若有突發狀況無法如期完成復機,會再以e-mail通知各位委託者。
以上是目前機台的狀況,若造成各位委託者實驗上的困擾,請大家多多包涵。
若有委託者想取消委託分析,請回覆告知,謝謝。
By 工程師 沈奕伶 2011/01/04
December 3,2010
NDL AES&ESCA 機台狀況
您們好,目前機台經測試後已能進行分析。
將於即日起盡快安排時間完成各位的委託件。
最後再次向各位委託者說聲:抱歉!
造成大家實驗上的困擾,請您們見諒。
若有問題 請與我連絡...謝謝!
By工程師 沈奕伶2010/11/29
December 1,2010
November 22,2010
November 18,2010
November 10,2010
預告--- 奈米元件材料分析組將導入MES 系統!
各位委託者:
你們好~
預告一個好消息...
分析組將於明年度計劃導入之MES 系統,將便利遠端的使用者對於委託進度掌握及訊息,提供完整的作業流程監控,將有助於提升委託效率及品質,準確達成預定的交期。
MN
SEM & AFM 學生常見反應問題
1. 希望"SEM S- 4000 累滿100小時才能考核, SEM 7600的條件" 時數下降一點。
2. SEM的。析度較差,alignment和focus做好之後對於影像的清晰度幫助有限,有可能是機台的極限。
3. 謹慎考核使用者。
4. 有時會有小故障。
5. 它年紀有點大,有時會不穩定。
6. 儀器較舊對於需要高解析度拍攝的樣品不太好拍。
7. 因為我的試片的厚度為30nm,這樣等於是SEM要放大到10萬倍以上才可以看的到,那可能是因為機台的極限導致我必須用較高階的SEM或是TEM才能拍得到。
8. 希望 "SEM S-4000 累滿100小時才可考核SEM 7600" 的考核條件對碩士生來說 可以降低(例如改成50小時)。
9. 熱場發SEM再增設CL。
10. NM-009熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM)--拍攝效果(對比)不佳。
工程師回答1~5反應:
100小時是經過審慎評估,時數限制是為了讓使用者對SEM更加了解與操作熟悉度增加。
因機台機齡約20年,故解析度會稍差,但每年仍會請原廠對機台做校正與保養,已達機台最佳狀況。
工程師回答6~7反應:
機台較舊解析度會較差,但每年仍會請原廠對機台做校正與保養,已達機台最佳狀況,如有需要高解析度拍攝的樣品建議可申請SEM(JSM 6500-F)委託,或操作FESEM滿100小時可有SEM(JSM 6500-F)使用資格。
對於厚度為30nm試片,建議使用TEM觀測,除非試片導電性極佳,SEM才較有機會拍到解晰較佳影像。
工程師回答8反應:
累滿100小時是經由審慎評估,時數限制是為了確認使用者對SEM熟悉度,如果SEM(JSM 6500-F)使用資格下降,導致機台發生問題,將影響其他使用者的使用權。
工程師回答9反應:
目前使用者對於CL需求量非常少,暫不考慮增設此設備。未來如有經費或有較多使用者需要使用此設備,我們會審慎評估。
工程師回答10反應:
SEM影像對比與試片材料結構有關(如試片高度落差不大或是試片材質太接近等),影像並不會有強烈對比。
AFM學生反應常見問題
1. 假日時萬一有人撞針,即無法再使用AFM(除非自己帶針來使用).我暫時也想不出什麼方法,不過如果有方法可改善此問題,能讓服務更完善也不錯。
工程師回答1反應:
因更換本組提供之探針,為NDL購買之財產,所以需負責工程師親自更換,無法直接提供給自行操作者。
若假日遇其他使用者撞針,建議同學自備探針更換。否則,還是只能在上班時段時,工程師才能進行換針。建議同學可約在週二或週四白天時段,工程師可馬上解決換針問題。
November 9,2010
提醒--NDL網路連線管理
99年11月1日開始執行網路連線管理,對網路連線之來源端與目的端、時間、流量(流進+流出)進行記錄,但不進行任何封包側錄。
流量統計分為全時段及上班時間(AM8:00-PM6:00) 兩種,並分別篩選每月流量前5%者連線紀錄按月進行分析,請使用者於操作時段勿任意上網連線。
在此宣導~請自行操作者,請勿亂下載非法軟體、影片、音樂...等等。
感謝大家配合~
歲修期間---影響委託分析通知
各位委託者:
你們好!
歲修期間無法進行委託分析,仍可送件,先排隊等候分析。
歲修結束後,依排件順序進行量測分析…
此期間造成不便,請委託者多見諒…
歲修結束後 ~ 仍以熱誠的精神 ~
繼續幫委託者服務!
NM
NDL AES&ESCA 機台狀況
各位委託者:
您們好,不好意思在此要跟各位說聲“抱歉”。
由於最近機台真空狀況不好,所以無法進行委託分析。
目前已請廠商進行處理,但還有其他耗材需更換,再加上11中旬年度歲修,歲修後還需要時間復機,得待廠商確認可以使用後,才能進行委託分析,故無法給各位委託者一個明確的時間,且也會讓各位委託者等較久的時間。
以上是目前機台的狀況,造成各位委託者實驗上的困擾,在此向各位致上十二萬分的歉意。
待機台恢復運作後會回覆讓各位委託者知道,並盡快完成各位的委託分析。
若有問題 請與我連絡
工程師 沈奕伶



