January 4,2018

薄膜科技與應用(第五版)

內容簡介:
1.薄膜是實踐電子元件輕薄短小、低損耗能量之關鍵技術,使固態電子產品之進步發展得以靈活設計及精確控制其品質。

2.薄膜技術涉及多門學科領域,本書將薄膜的應用與製作薄膜所用到的真空技術、熱力、電漿科技皆有所涵蓋。

3.本書內容共為八章,前四章介紹薄膜製作技術所用到的各種裝備與物理機制,第五、六章說明如何製作高品質薄膜和薄膜品質對元件電性的影響,第七、八兩章說明量測薄膜特性的各種技術與原理。

4.適合大學、科大機械、電機、化工、材料系「薄膜技術」、「薄膜工程」課程使用,也適合從事微電子技術之產業界的專業人員使用。

薄膜技術的進展和表面界面物理導入,使電子元件實現了輕薄短小,且… ...繼續閱讀

books11100835443發表於 樂多11:51回應(0) │標籤:讀冊教育,讀冊高等教育